Лаборатория создана в рамках реализации национального проекта «Наука и университеты» (по итогам отбора заявок на создание новых лабораторий в контексте результата «Созданы новые лаборатории, в том числе под руководством молодых перспективных исследователей» федерального проекта «Развитие человеческого капитала в интересах регионов, отраслей и сектора исследований и разработок» национального проекта «Наука и университеты»).
Лаборатория создана приказом Института от 02.11.2022, № 15325-225-ОД.
В лаборатории проводится синтез и изучение термических свойств высокочистых металлорганических соединений, эффективных в процессах атомно-слоевого и химического газофазного осаждения функциональных слоев для микроэлектроники.
Сотрудники
| Заведующий лабораторией | к.х.н. Викулова Евгения Сергеевна | 55-33 | 330-95-56 This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it. |
302(I) |
| Материально-ответственный | НАЗАРОВА Анна Александровна | 53-21, 55-16 | 330-92-59 This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it. |
115(II), 229(II) |
| Волчек Виктория Викторовна | 55-56 | 330-12-59 This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it. |
311(II) | |
| к.х.н. Доровских Светлана Игоревна | 55-98 | 330-95-56 This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it. |
314(I) | |
| к.х.н. Ильин Игорь Юрьевич | 55-71 | 330-95-56 This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it. |
105(I) | |
| Ильдяков Андрей Вячеславович | 59-29 | 330-95-56 This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it. |
103(I) | |
| Караковская Ксения Игоревна | 55-33, 55-64 | 330-95-56 This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it. |
302(I), 114(I) | |
| к.х.н. Лебедев Михаил Сергеевич | 53-91 | 330-96-05 This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it. |
206 (II) | |
| д.х.н. Морозова Наталья Борисовна | 55-24 | 330-95-56 This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it. |
304(I) | |
| Петухова Дарья Евгеньевна | 53-91, 55-71 | 330-96-05 This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it. |
206(II), 105(I) |