Лаборатория функциональных пленок и покрытий
- Информация о материале
Лаборатория создана в 1963 году в связи с организацией в ИНХ СО АН СССР отдела химии полупроводников. Первоначальное название – лаборатория полупроводниковых пленок и защитных покрытий. В состав лаборатории вошли сотрудники трех подразделений, заведующим был назначен к.х.н. Ф.А. Кузнецов. В 1971 году после выделения из ее состава группы диэлектрических слоев лаборатория получила название лаборатории эпитаксиальных слоев. За 46 лет существования из лаборатории выделились три лаборатории (лаборатории Белого В.И., Стенина Ю.Г. и Окотруба А.В.) и две группы (Васильева Я.В. и Баковца В.В.). В 2008 году в состав лаборатории вошла часть лаборатории диэлектрических слоев. В 2018 году решением Ученого совета ИНХ СО РАН (прот. № 27 от 15.03.2018) лаборатория переименована в "Лабораторию функциональных пленок и покрытий". В настоящее время общая численность сотрудников составляет 19 человек. Возглавляет лабораторию к.х.н. М.Л. Косинова.
Научные задачи Прикладные задачи Партнеры Оборудование Видео
| Заведующий лабораторией | к.х.н. КОСИНОВА Марина Леонидовна | 57-94 | 330-96-05 marina@niic.nsc.ru |
237(II) | ||
| Материально-ответственная | МАСЛОВА Ольга Владимировна | 55-65 | 330-96-05 razlev@niic.nsc.ru |
210(II) | ||
| к.х.н. БЕЛАЯ Светлана Вячеславовна | 53-83 53-65 |
330-96-05 sveta@niic.nsc.ru |
205(II) 234(II) |
|||
| к.т.н. БОРИСОВ Виктор Одиссеевич | 57-40 | 330-96-05 odyssey@niic.nsc.ru |
235(II) | |||
| к.х.н. ДЁМИН Виктор Николаевич | 57-40 | 330-96-05 demin@niic.nsc.ru |
235(II) | |||
| к.х.н. ЕРМАКОВА Евгения Николаевна | 55-65 57-71 |
330-96-05 ermakova@niic.nsc.ru |
210(II) 233(II) |
|||
| КОЖЕВНИКОВ Александр Константинович | 59-80 53-91 |
330-96-05 kozhevnikov@niic.nsc.ru |
204(II) 206(II) |
|||
| КИЧАЙ Вадим Николаевич | 55-87 | 330-96-05 kitchay@niic.nsc.ru |
111(II) | |||
| к.х.н. ЛЕБЕДЕВ Михаил Сергеевич | 53-91 | 330-96-05 lebedev@niic.nsc.ru |
206 (II) | |||
| к.х.н. МАКСИМОВСКИЙ Евгений Анатольевич | 59-80 | eugene@niic.nsc.ru | 204(II) | |||
| к.х.н. МЕРЕНКОВ Иван Сергеевич |
|
330-96-05 merenkov@niic.nsc.ru |
205(II) 234(II) |
|||
| к.х.н. ПЛЕХАНОВ Александр Георгиевич | 57-71 | 330-96-05 plehanov@niic.nsc.ru |
233(II) | |||
| СУЛЯЕВА Вероника Сергеевна | 53-91 59-80 |
330-96-05 veronica@niic.nsc.ru |
206(II) |
|||
| д.х.н. ТРУНОВА Валентина Александровна | 53-20 | 330-96-05 trunova@niic.nsc.ru |
238(II) | |||
| ЧАГИН Максим Николаевич | 55-65 | 330-96-05 chagin@niic.nsc.ru |
210(II) | |||
| к.ф.-м.н. ШАЯПОВ Владимир Равильевич | 59-35 55-75 |
330-96-05 shayapov@niic.nsc.ru |
110(II) 110a(II) |
|||
| ЮШИНА Ирина Викторовна | 55-75 | 330-96-05 jush@niic.nsc.ru |
110a(II) | |||
| к.х.н. ЯКОВКИНА Любовь Владимировна | 55-87 | 330-96-05 yakovk@niic.nsc.ru |
111(II) | |||
Фундаментальные научные задачи
- Создание новых процессов синтеза пленок функциональных материалов на основе изучения фундаментальных закономерностей – взаимосвязи химического, фазового состава, структуры, физических и функциональных характеристик слоев и многослойных структур. Изучение возможных областей применения этих материалов.
- Физико-химические исследования газофазных процессов синтеза пленок.
Основные направления исследований
- Изучение процессов разложения легколетучих соединений в газовой фазе:
- Термодинамическое моделирование многокомпонентных систем, используемых в процессах осаждения из газовой фазы.
- Изучение кинетических закономерностей и механизма роста тонких пленок (полупроводниковых и диэлектрических материалов, оптических, твердых, защитных покрытий), синтезированных термическим и плазмохимическим разложением легколетучих элементоорганических и комплексных соединений.
- Исследование химического и фазового состава, микроморфологии, структуры тонких слоев, их связи с условиями синтеза и природой подложки. Изучение механизмов термической и химической стабильности, старения и деградации получаемых материалов.
- Получение данных о зависимости функциональных характеристик (электрофизических, оптических, магнитных и механических) синтезируемых пленок от их химического строения, структуры, типов примесных и собственных дефектов
- Использование оптических методов при изучении пленок диэлектриков, полупроводников и металлов с целью определения их строения.
- Изучение возможности применения покрытий.
Прикладные задачи, решаемые и разрабатываемые лабораторией
- Развитие процессов химического осаждения из газовой фазы (CVD) сложных объектов, в том числе материалов для наноэлектроники диэлектриков с высоким и низким значением диэлектрической константы.
- Синтез функциональных материалов в скоростных газовых потоках исходных веществ активацией плазмой мощного оптического пульсирующего разряда.
- Разработка методик исследования физико-химических свойств пленок оптическими методами.
Научные и производственные связи, партнеры
Лаборатория имеет широкие научные контакты и осуществляет сотрудничество с российскими и зарубежными университетами и исследовательскими центрами. Совместная работа проводится в рамках проектов РФФИ.
- Институт катализа им. Г.М. Борескова СО РАН, Новосибирск
- Институт лазерной физики СО РАН, Новосибирск
- Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, Новосибирск
- Институт химии твердого тела СО РАН, Новосибирск
- Институт цитологии и генетики СО РАН, Новосибирск
- Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера СО РАН, Новосибирск
- Иркутский институт химии СО РАН
- Московский институт стали и сплавов
- Новосибирский государственный университет
- Санкт-Петербургский государственный университет
- Индийский институт науки, г. Бангалор, Индия
- Институт полупроводников КАН, Пекин, КНР
- Национальная физическая лаборатория, Дели, Индия
- Национальный политехнический университет Армении, Ереван, Республика Армения
- Национальный Университет Цинь-Хуа, Синджу, Тайвань
- Университет науки и технологии Ляонинь, Аньшань, КНР
- Университет Тохоку, Сендай, Япония
- Уханский университет технологии, г. Ухан, КНР
- Шеньянский университет химической технологии, Шеньян, КНР
- Проект РФФИ-BRICS 18-53-80016 «Биомедицинские покрытия из карбида кремния, полученные химическим осаждением из газовой фазы» (рук-ли проф. Б. Басу, проф. Р. Ту, к.х.н. Косинова М.Л.)
- Проект РФФИ-DST 19-53-45012 ИНД_а «Сопряженные гетероструктуры наностенок h-BCN и двумерных нанослоев» (рук. к.х.н. Меренков И.С.)
- Проект РФФИ – 18-53-52009 МНТ_а «Рост «high-k» диэлектриков на двумерных материалах и изучение их границы раздела для инновационной наноэлектроники» (рук. к.х.н. Лебедев М.С.)
Список уникального оборудования
- 9 установок для синтеза пленок методами ALD, PECVD, ICPCVD, LPCVD и PVD
- растровый электронный микроскоп JSM 6700F с приставкой EDS EX-23000 BU
- универсальный оптический микроскоп NU-2
- спектральный эллипсометр ЛЭФ-511 КАСЭК
- лазерный эллипсометр фотометрический ЛЭФ-3
- прибор для измерения кривизны образцов, определения КТР и модуля Юнга
- сканирующий спектрофотометр UV-3101PC
Видео
Тонкие пленки, которые нельзя увидеть! Большая Научная Экскурсия
Фотоархив
2017
Silicon Carbide Biomedical Coatings Prepared by Chemical Vapor Deposition
- Информация о материале
BRICS Science, Technology and Innovating Framework Programme
BRICS Project: Silicon Carbide Biomedical Coatings Prepared by Chemical Vapor Deposition.
|
Prof., Dr. Bikramjit BASU |
|
|
Prof., Dr. Rong TU |
Wuhan University of Technology, Wuhan, Hubei Province, P. R. China |
|
Ass. Prof., Dr. Marina KOSINOVA |
Publications
I.S. Merenkov, H. Katsui, M.N. Khomyakov, V.S. Sulyaeva, R.V. Pushkarev, R. Tu, T. Goto, M.L. Kosinova “Extraordinary synergetic effect of precursors in laser CVD deposition of SiBCN films”. Journal of the European Ceramic Society. 2019. 39. 5123–5131.
© ИНХ СО РАН 1998 – 2025 г.